1928年5月1日出生于镇海柴桥。1951年浙江大学毕业分配到上海同济大学任教。1953年到苏联列宁格勒大学物理系攻读研究生，1958年获物理-数学副博士学位。同年回国后，到清华大学工作至今。1991年当选为中国科学院院士。现任清华大学信息学院和微电子所委员会主任，国务院学位委员会学科评议组成员，中国电子学会半导体分会副理事长，以及几个国家实验室，973计划学术委员会或专家组成员等职。

李志坚在清华园已度过了42个春秋。每年4月最后一个星期日——清华大学校庆日，对李志坚来说，这里不仅对校友欢聚的喜悦，更有对其科学成果倍出的欣慰。

当年在列宁格勒大学，他的导师、苏联科学院院士列比捷夫要求他用两年时间补习量子力学、固体物理等基础理论，而李志坚以勤奋的努力仅用半年就通过了这些课程，提前一年半进入了研究课题-薄膜电导和光电导机理及器件研究。他一头扎进实验室，自己设计，创造条件，制造出真空度达10-10托的全玻璃真空系统。他改进的小电流测量设备可测10-15A数量级。这些在当时均属国际最高水平。他还提出了多晶膜粒间电子势垒模型。

回国后，他立即投入清华大学半导体专业的创建工作。他和师生们日以继夜地奋战了一年多，首次在我国用四氧化硅还原法获得了高纯度多晶硅，拉出了第一根钨丝区熔单晶硅。1961年，在国内首次研制成硅合金晶体管。1964年又研制成功硅平面高反压晶体管并着手集成电路的研制。1980年，清华大学微电子所建立，李志坚先后任副所长、所长。80年代，他领导研制出1K、4K、16K、位SARM，8位、16位微处理器和2KEEPROM、通讯专用集成电路等大规模集成电路。1990年，研制成1兆位只读存储器汉字库，第一次使集成度突破百万元件大关。李志坚还从事多项研究课题，取得重要成果，出专著四部，发表论文一百多篇，十多次获国家和部级奖。1979年，被评为全国劳动模范，成为国家级有突出贡献专家。1997年，他获得中国科学最高奖-陈嘉庚奖。