1月，在《中国集成电路》上发表文章《ULSI技术发展的三点思考》。对ULSI技术发展前沿中三个有意义的课题提出自己的看法：器件与互联要突出互联；能耗应成为ULSI设计坐标系的第三个主轴；ULSI应从生物学与生命科学中吸收更多的启示。这也是21世纪ULSI发展的三个注意的宏观方向。

6月，受聘为清华大学第一届教授提名委员会信息学科委员，聘期为本年6月至2005年12月。

7月，指导的博士生马玉涛的博士论文《ULSI器件中的量子力学效应和量子隧穿》入选2003年“全国百篇优秀博士学位论文”。

8月11日，信息产业部科学技术司邀请他担任国家汽车计算平台工程中的项目专家组成员。

9月10日，获得2003年度清华大学“教书育人奖”荣誉称号。

10月，受聘为《中国知识资源总库》编辑委员会编委。