微米/纳米驱动及控制技术
摘要:微米/纳米驱动及控制技术是纳米技术发展的基础。本文介绍了微米/纳米驱动及控制的国内外发展状况及哈工大在微米/纳米驱动方面的研究工作,并提出了今后的发展策略
作者:蔡鹤皋; 孙立宁; 安辉; 张涛
来源(出处):仪器仪表学报,Chinese Journal of Scientific Instrument,1996,(S1) :185-188+192
发表日期: 1996年12月30日
摘要:微米/纳米驱动及控制技术是纳米技术发展的基础。本文介绍了微米/纳米驱动及控制的国内外发展状况及哈工大在微米/纳米驱动方面的研究工作,并提出了今后的发展策略
作者:蔡鹤皋; 孙立宁; 安辉; 张涛
来源(出处):仪器仪表学报,Chinese Journal of Scientific Instrument,1996,(S1) :185-188+192
发表日期: 1996年12月30日
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