压电/电致伸缩微位移器件与应用(下)
摘要:本文介绍了压电/电致伸缩微位移器件在各领域中的应用,认为了其在亚微米级技术领域中将发挥重要作用。
作者:蔡鹤皋; 孙立宁; 安辉
来源(出处):高技术通讯,High Technology Letters,1994,(6) :37-40
发表日期: 1994年6月28日
摘要:本文介绍了压电/电致伸缩微位移器件在各领域中的应用,认为了其在亚微米级技术领域中将发挥重要作用。
作者:蔡鹤皋; 孙立宁; 安辉
来源(出处):高技术通讯,High Technology Letters,1994,(6) :37-40
发表日期: 1994年6月28日
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